甚高频等离子气相沉积设备-太阳能研究部

部长介绍

李灿院士

现任中国科学院大连化学物理研究所研究员、洁净能源国家实验室主任，2003年当选中国科学院院士。中国科学院大连化学物理研究所和日本东京工业大学联合培养理学博士。曾先后在比利时新鲁汶大学、美国西北大学、英国利物浦大学……

室主任，2003年当选中国科学院院士。中国科学院大连化学物理研究所和日本东京工业大学联合培养理学博士。曾先后在比利时新鲁汶大学、美国西北大学、英国利物浦大学……

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实验设备

甚高频等离子气相沉积设备

发布人：管理员发布时间：2016-07-15 返回首页

　　美国Proflex 公司出品，甚高频等离子体化学气相沉积系统一种多进程，多腔室集群系统，可以用来研究非晶硅、纳晶硅、硅锗、硅薄膜和一些太阳能器件以及生产应用。这一系统可以沉积薄膜，包括n型、P型和本征无定型硅薄膜、非晶的和纳晶SiC薄膜、非晶的和纳晶的硅锗薄膜，SiOx，SiNx，AZO，ITO，Al 或者Ag薄膜等等。随着设备的设计和过程的优化，可以生产出以硅为基底的太阳能电池结构。该设备可以采用等离子体激发的气相沉积，热丝气相沉积和射频溅射在150mm*150mm水平尺寸的基底上进行沉积。