电子束与电阻式热蒸镀系统-太阳能研究部

部长介绍

李灿院士

现任中国科学院大连化学物理研究所研究员、洁净能源国家实验室主任，2003年当选中国科学院院士。中国科学院大连化学物理研究所和日本东京工业大学联合培养理学博士。曾先后在比利时新鲁汶大学、美国西北大学、英国利物浦大学……

室主任，2003年当选中国科学院院士。中国科学院大连化学物理研究所和日本东京工业大学联合培养理学博士。曾先后在比利时新鲁汶大学、美国西北大学、英国利物浦大学……

学术动态

实验设备

电子束与电阻式热蒸镀系统

发布人：管理员发布时间：2016-07-15 返回首页

　　台湾崇文科技出品，集热蒸镀和电子束蒸镀于一体。热蒸镀是在高真空情况下，将蒸镀的材料利用电阻加热到熔化温度，并附着在基底表面的一种技术。而电子束蒸镀系统则是利用电子束将衬底材料加热到融化温度，电子束蒸发技术的优越性在于对衬底无损伤，沉积速率快，成本低，此设备目的在于在太阳能电池背电极制备过程中可有效避免对Si薄膜的损伤。将固体材料置于高真空环境中加热，使之升华或蒸发并沉积在特定衬底上以获得薄膜的工艺方法。沉积的薄膜的均匀性、透过率、方块电阻性能都很好，可以作为电池的电极。